随着现代工业技术的发展,微纳级超微力的应用与测量已经渗透到工业生产的各个领域之中。然而微力传感器本身的性能却显得相对滞后,而且在国际上尚未形成统一的测量与溯源标准。因此,建立一种稳定、精密的超微力计量体系成为急待解决的问题。论文探索了一种基于静电场的超微力测量方案,对测量方案的可行性做了理论分析,并在此基础上设计了静电场微力测量系统。目前已经完成了机械、电路以及软件等方面的设计工作,搭建了前期测量系统实验平台。在此平台上,完成了系统的漂移、校准、重复性、分辨力、线性度等性能测试,并完成了电容梯度测量实验及静电力发生验证实验。具体工作如下:基于静电力发生原理,完成了静电场测量微力方案的系统设计。测量系统将工作在两种连续的测量模式下。测量模式一完成测量系统电容梯度的测量,测量模式二将完成微小力值的测量。测量系统采用了自主设计的静电力发生装置,其电容传感器部分的设计充分利用了圆柱形电容传感器量程大,线性好,边缘效应小等特点。采用悬挂弹簧结构及同轴度调整机构,有效消除了内外电极的运动摩擦力,弹簧机构同时可以充当静电力发生实验中的微力源。设计了基于新型高精度集成式电容数字转换器AD7747与USB控制传输芯片FX2LP的电容采集模块。该模块设计包括测量电路,固件程序及上位机软件部分。利用该电容测量模块配合高精度电容测微仪,可完成静电力发生装置的电容梯度测量实验。分别搭建了两种测量模式下的系统平台,进行了系统漂移,重复性,分辨力,线性度的性能测试。完成了电容梯度测量及静电力发生验证实验。通过实验,证明了静电力发生原理的正确性及基于静电场测量微小力值方案的可行性。通过以上多方面的工作,为进一步探索研究10-5N及以下的超微力值测量奠定了坚实的理论及实践基础。