随着激光器的快速发展以及优质声光晶体材料的不断研发,基于布拉格衍射的声光器件在光外差干涉测量、光通信等领域中得到了广泛的应用。在光外差干涉测量中,因为测量物品的多样性,其反射率与表面的粗糙程度会对微位移与微振动等高精密的测量产生较大的影响,所以对光外差干涉测量光路与决定声光器件品质的声光调制器驱动电源的研究是十分必要的。针对物体表面粗糙程度与反射率的不同在光外差干涉测量系统中的影响,对光学系统进行了改良,实现了双光路测量系统的设计。根据各个光学元件的特性与功能,分析了系统中非线性误差的主要来源,将具体误差进行了数学推导,并仿真分析了其结果,证实了在一定规格光学元件下,光学系统的可行性。在实际测量过程中,针对外差干涉测量系统的需求,设计一种多灰度线性声光调制器驱动源,使用以数字电位器DS3902为核心的恒流源电路,对声光调制器衍射光强的特性进行了测试,实验结果表明,衍射光强灰度值与数字电压成非线性关系,利用线性补偿技术对恒流源电路进行调制,使得调制以后的衍射光强随着灰度等级呈线性变化,线性相关系数可达99.91%,比补偿前提高了1.15%。通过多灰度光外差干涉测量系统的静态与动态实验,证实了多灰度线性声光调制器驱动电源确实可以改善测量系统的测试性能,并且有着优越的测试性能。