柔性透明电极（Flexible Transparent Electrodes,FTEs）是一种新型的光电材料,具有较好的光电特性、强机械性、高热稳定性和高耐用性等特点,可用于穿戴设备、曲面太阳能电池、便携式加热器和智能窗口等多个领域,因此FTEs材料已经成为光电产业的重要组成部分之一。传统的氧化铟锡（Indium Tin Oxide,ITO）透明电极材料的脆性高、价格昂贵、热稳定性差、原料利用率低和有毒等缺点,不能满足未来光电器件的需求。因此,当前许多研究者和研究机构专家通过化学合成、物理喷涂、激光烧结、激光烧蚀等方法制备了基于金属网格、金属纳米线、碳纳米管和石墨烯等材料的新型FTEs。超短脉宽、超高峰值功率的飞秒脉冲激光因其较强的材料兼容性和“冷加工”优势,从众多加工方式中脱颖而出,成为制备FTEs的重要方式之一。目前,基于飞秒激光烧蚀技术制备金属FTEs的研究较为欠缺,并且飞秒激光与金属薄膜相互作用的理论研究尚未成熟。因此,研究飞秒激光烧蚀技术制备柔性透明金属铜网格电极的机理、特性和应用具有重要意义。本文首先讨论了FTEs的种类和制备方法,重点对激光烧蚀金属薄膜的动态演化过程进行了分析,为飞秒激光直接烧蚀金属薄膜的理论和实验研究奠定了基础。随后搭建了飞秒激光加工系统和飞秒激光整形系统。利用双温模型模拟了飞秒激光作用于铜薄膜表面的温度场,并通过实验计算得出铜薄膜的烧蚀阈值,以分析飞秒激光烧蚀铜薄膜方案的可行性。之后对制备的柔性透明铜网格电极进行了性能测试,测得在550 nm处可见光的透过率为91.8%,对应的方块电阻为15.1Ω/sq;在弯曲半径为6.5 mm的10000次弯曲拉伸循环试验中,电阻变化率仅为2%;500次黏附性测试电阻变化率小于5%;在4 V直流电压下,铜网格加热器的温度迅速升高并稳定在151.9℃;在80℃的加热温度下对FTEs进行开关循环测试,分析发现其可循环性比ITO材料更高;当弯曲角度在0°到90°之间变化,温度与初始值相比变化仅为2%。为解决单光束激光加工效率低和能量利用率低的缺点,研究了空间光调制器整形多光束飞秒激光加工的方法。空间光将达曼光栅相位全息图加载到空间光调制器上获得了多束能量均匀的高斯光束,将加工速度最高提升了25倍。同时,研究了空间光整形方形光束,进一步降低了金属覆盖率（最小为0.27）。最后,对新型铜网格FTEs进行了应用研究,使用加工后的样品制作了触摸屏面板、加热除雾器和隔热智能窗口。