本文主要对金属表面浅槽周期结构上的太赫兹表面等离子体激元进行了研究。首先对金属表面一维周期V形槽结构所支持的人工表面等离子体模式进行了研究中,分析了结构的几何参数改变对表面电磁模式的色散特性、损耗以及场约束的影响证明了金属表面的等离子体频率完全由表面结构的几何参数所决定,而且其表面模式的传播特性主要受V形槽的刻槽深度的影响,而刻槽的宽度对SSPPs的特性的影响很小。在实际应用中,周期凹槽的深度往往会受到金属表面厚度的限制,基于浅的周期凹槽结构所支持的人工表面等离子模式的特性,将有助于设计出基于浅的周期凹槽结构的等离子器件,因此具有十分重要的意义。接着,对一维周期刻槽的横截面结构的改变对人工表面等离子模式的影响进行了研究。研究显示,SSPPs的渐近频率对刻槽的横截面结构很敏感。增大刻槽的底部宽度,可以有效的降低金属表面等离子频率。相对于喇叭形槽和垂直槽,横截面结构为梯形的金属表面结构具有更好的场约束。为了更好的了解梯形槽结构所支持的SSPPs的特性,并进一步对三种不同横截面结构的周期凹槽(喇叭槽、垂直槽、梯形槽)的表面结构进行细致的研究。另外还分析了太赫兹波段金属的吸收损耗对梯形槽上SSPPs的影响,并对该表面结构的导波能力进行了验证。最后对介质填充浅槽周期结构表面上的SSPPs开展了研究。通过对周期浅槽内介质为空气、聚乙烯、硅三种情况下的SSPPs特性进行分析,得出了在刻槽内填充高介电常数的介质(聚乙烯和硅),也可以有效降低SSPPs的渐近频率,增强金属表面对场的约束能力,并通过数值计算,表明了填充介质的金属表面SSPPs不但具有亚波长约束的情况下而且能实现长距离传输。通过数值仿真,还验证了填充介质的一维周期刻槽结构良好的导波能力。