【摘 要】
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薄膜厚度和光学常数的准确测量在应用和研究领域具有重要的意义。椭圆偏振光谱法(Spectroscopic Ellipsometry,简称椭偏光谱法,缩写为SE)是一种高灵敏度、非破坏性的原位(in situ)表征技术。即使常规的椭偏仪也可以获得较高的厚度灵敏度(0.1?)。但椭偏仪直接测量得到的椭偏参数(ψ、?)并无任何意义,它需要借助计算机拟合的方法才能求解出薄膜的厚度df及光学常数(折射率nf、
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薄膜厚度和光学常数的准确测量在应用和研究领域具有重要的意义。椭圆偏振光谱法(Spectroscopic Ellipsometry,简称椭偏光谱法,缩写为SE)是一种高灵敏度、非破坏性的原位(in situ)表征技术。即使常规的椭偏仪也可以获得较高的厚度灵敏度(0.1?)。但椭偏仪直接测量得到的椭偏参数(ψ、?)并无任何意义,它需要借助计算机拟合的方法才能求解出薄膜的厚度df及光学常数(折射率nf、消光系数kf)。椭偏光谱法难以精确表征透明衬底上吸收薄膜光学常数的原因:(1)衬底的背面反射光为非相干光
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