【摘 要】
:
薄膜厚度和光学常数的准确测量在应用和研究领域具有重要的意义。椭圆偏振光谱法(Spectroscopic Ellipsometry,简称椭偏光谱法,缩写为SE)是一种高灵敏度、非破坏性的原位(in situ)表征技术。即使常规的椭偏仪也可以获得较高的厚度灵敏度(0.1?)。但椭偏仪直接测量得到的椭偏参数(ψ、?)并无任何意义,它需要借助计算机拟合的方法才能求解出薄膜的厚度df及光学常数(折射率nf、
论文部分内容阅读
薄膜厚度和光学常数的准确测量在应用和研究领域具有重要的意义。椭圆偏振光谱法(Spectroscopic Ellipsometry,简称椭偏光谱法,缩写为SE)是一种高灵敏度、非破坏性的原位(in situ)表征技术。即使常规的椭偏仪也可以获得较高的厚度灵敏度(0.1?)。但椭偏仪直接测量得到的椭偏参数(ψ、?)并无任何意义,它需要借助计算机拟合的方法才能求解出薄膜的厚度df及光学常数(折射率nf、消光系数kf)。椭偏光谱法难以精确表征透明衬底上吸收薄膜光学常数的原因:(1)衬底的背面反射光为非相干光
其他文献
短程硝化反硝化是指将硝化过程控制在亚硝酸盐阶段,然后直接进行反硝化.该工艺具有降低能耗和运行费用、缩短反应时间等优点.该文通过采用SBR法工艺,对含海水城市生活污水进
一行是唐朝的得道高僧,他不但佛法高深,而且知识广博,是杰出的天文学家和数学家.他为朝廷制订历法,也擅长推演术数.rn唐玄宗十分器重一行,尊他为“圣人”.rn一天清晨,一位白
每一个人都有梦,在梦里扮演着另一个自己。角色的不同,所面临的事情也是千变万化。每个人总是会执著自己的梦,不管梦会给自己带来什么,总是信心百倍地等待那希冀的结果。一个
二维层状过渡金属硫属化合物由于具有类石墨烯的特殊结构,因此拥有很多优异的机械、光学和电学性能。其中典型的MoS2、MoSe2等已经被广泛应用于光催化制氢、锂离子电池、场效应晶体管及光电探测器等领域。近年来,虽然关于此类材料的研究取得了很大进展,但还存在一些问题需要解决:首先,二维层状过渡金属硫属化合物的大面积生长技术还不成熟,即使厘米级别的生长也不容易实现。另外,目前报道的基于MoS2、MoSe2
储氢合金目前已成为氢能源利用的重要材料之一,并发展为一个种类繁多的大家族。新工艺、新成分、新的晶型结构还在不断涌现,其目的是希望从改变储氢材料结构的角度实现其储氢性
晶体工程学为实现分子堆积的可设计性和可控合成,并进而实现材料的功能化提供了丰富的途径。金属-有机框架作为晶体工程学中的一类重要研究对象,以其结构稳定、设计多样、易
本文针对“文本拓展”在教学中存在的种种问题和现象提供了相应的实际对策和方法,并明确了“文本拓展”的几大原则,以理论研究和教学实践结果为参考,使文本拓展更加规范化、系统
在青藏高原多年冻土区修建铁路路堤,打破了原来天然地表与外界的热力平衡,地下温度场将重新分布.为了保持多年冻土的稳定,通常利用适当加大路堤高度的措施确保冻土上限不下降
最近,电视上每天都在讲武汉出了个看不见摸不着的怪兽,叫做新型冠状病毒.它来势汹汹,肆意传播.我们待在家里不外出,就是为祖国做贡献.rn1月24日,我又坐在电视机前关注疫情的
该文在中温条件下进行了生产性UASB反应器和小试EGSB反应器处理生产性淀粉废水的试验研究;同时,还利用扫描电镜对颗粒污泥的结构及细菌组成进行了定性分析.试验主要结果如下: