该文根据以移相干涉技术为代表的波面位相实时检测技术的特点及存在的问题,指出了研究能自动补偿环境振动造成的常数项光程随机变化的自适应移相干涉技术的必要性和可行性,从而确定了该论文的目的--建立一自适应移相干涉系统.即干涉系统采用闭环工作方式,使干涉条纹保持稳定、清晰,同时按要求进行移相干涉测量.通过对该技术发展现状的分析,总结出所存在的问题:由于对光信号的高频调制,使在对振动影响进行测量和补偿的同时降低了干涉条纹的对比度,降低了信号的信噪比,而且使用范围受限于两相干光束间光程差的大小.该论文以解决这些问题为主要研究方向.文中简要介绍了移相干涉测量原理,分析比较了各种自适应移相干涉技术的特点;对自适应移相干涉涉及到的关键技术之一的光调制技术进行了较全面、深入的分析比较,并优选了声光光强调制法;通过分析比较确定了计算被检波面位相分布的算法;对所建立的自适应移相干涉系统各组成部设计方法和特性以及系统的自适应闭环控制过程进行了描述及测试;为验证所建立的自适应移相干涉系统的工作可靠性并评价其实际性能,除了对它进行了锁相、移相等单元技术的实验验证外,还对光学零件的面形误差进行了实际测量.系统中采用的把振动探测与补偿光路和面形误差测量光路彼此分开的方案,解决了由于对光信号进行调制而使干涉条纹对比度下降的问题,降低了对光源功率的要求,大大提高了振动探测与补偿回路中光电点探测器的信噪比;采用的光强调制法使系统的工作不受相干光束光程差的限制而且可大大提高调制度和信噪比;论文最后对系统误差源进行了分析,并对所建立的系统提出了改进意见.