超声键合换能系统非线性振动的实验研究

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本文利用激光多普勒测振仪的非接触和高精密特点,对超声键合系统的振动进行了精密测试,并用GP算法对该振动的时间序列进行了分析;计算了振动序列的关联维数的值,分析了外界影响关联维数的影响因素,得出了关于超声键合系统振动复杂性有意义的实验结果,对于换能系统的动力学建模的新途径进行了有意义的技术探索。主要工作包括:1.综述了对换能系统测试的基本方法,阐述了实验的基本原理与数据处理方法,并用扫频的方法对换能系统的机械导纳进行了测定,研究了劈刀的质量对整个换能系统的固有特性的影响。
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