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金丝键合属于引线键合范畴,而在工业上金丝键合线弧形轮廓高度和下垂度都有明确要求,既不能过高,影响封装,也不能过低,可能导致短路,所以键合金丝线弧形轮廓直接影响到金丝键合的可靠性和稳定性。 本文简单介绍了引线键合技术的地位和其主要的三种键合技术,阐述了金丝键合线弧形高度要求。金丝的直径一般是几微米到几十微米,高度小于0.1mm,弧长小于0.5mm。本文设计搭建了一种单相机倾斜拍摄的图像测量系统,并对其采集系统的主要组成模块进行了原理分析和实验比较,主要包括光源选择,传感器选择,镜头选择。利用 VC++语言在MFC平台下编写图像处理软件,提取金丝轮廓,分析图像在三维空间的几何关系,结合阈值分割、图像测量和改进的prewitt边缘检测算子等分割方法对图像进行处理,求出相机轴线与水平面的夹角(即入射角)和单像素二值化金丝弧形轮廓,并利用入射角和金丝弧形轮廓的空间几何关系,反演金丝在高度方向的弧形轮廓曲线。该系统能够观察到清晰的键合金丝图像,在对采集到的图像进行处理时选择了信息量最丰富的彩色图像作为处理对象,反演出金丝的弧形轮廓。 本文所研究的键合金丝线弧形轮廓离线检测系统,为检测键合金丝线质量提出了一种新的思路和检测方法,改变了传统目检只能一个人观察显微镜检测产品,不能分享和存储图像的缺点,同时还大大缓解了人眼疲劳,本文的研究具有一定的实用价值和理论意义。