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超精密液体静压转台一直作为安装工件或者其他机床移动轴的重要部件广泛地运用在多轴的超精密机床中,其运动精度对整个机床的加工精度影响很大。影响液体静压转台性能的主要因素是转台中液体静压轴承工作状态下的刚度等性能指标。同时,超精密液体静压转台的结构形式对于转台制造、装配过程中的可行性、难度及所达到的精度影响很大。因此,研究超精密液体静压转台的液体静压轴承及转台结构的设计和相关性能的分析对超精密机床整体获得优良的工作性能具有重要的意义。本文是针对“高档数控机床与基础制造装备”国家科技重大专项项目(项目编号:2011ZX04004-061)中超精密液体静压转台的设计制造而开展的超精密液体静压转台的设计与分析研究。课题涉及的超精密液体静压转台安装在水平面内的直线运动部件上,要求的径高比较大。为此,在转台的液体静压轴承结构的设计中提出了一种新的结构方案,此种结构方案可为类似的大径高比液体静压转台的设计提供参考。根据提出的大径高比超精密液体静压转台结构进行了液体静压轴承的设计和计算。为了减少计算工作量,编写了相关的设计计算程序。在确定了合适的液体静压轴承结构尺寸后,完成了转台整体结构的三维设计。利用有限元分析软件ANSYS Mechanical APDL,分别对止推轴承和径向轴承进行了静力学变形分析,以校验转台的各项刚度指标在液压油压力作用下是否满足转台的技术要求。对于不满足技术要求的结构进行结构优化。并计算液体静压轴承中的液压油在工作状态下的平均温升,以分析轴承在工作状态下液压油温升对轴承的刚度影响。为获得更为接近实际工作情况下的转台液体静压轴承结构的变形,对液体静压轴承进行了流固耦合分析,并根据流固耦合分析得到的变形结果重新计算校验转台的各项刚度指标。为考察转台转动体的固有频率及在固有频率下的振型,将转台液体静压轴承油膜支撑等效为弹簧单元,对转台转动部分进行模态分析。并进行了谐响应分析,以得到转动体系统在磨削力作用下的幅频特性。