大气污染是当前最突出的环境问题之一。特别是近年来,挥发性有机化合物(Volatile Organic Compounds,VOCs)和恶臭废气等大量排放引起城市灰霾、光化学烟雾等区域大气环境问题。真空紫外光解技术具有的能量能断开大部分化学键,使其大部分降解为简单的无机化合物且能在常温常压下进行。本文以乙苯、α-蒎烯及二者的混合废气为研究对象,主要考察了工艺参数对去除率的影响。α-蒎烯初始浓度为100mg/m3,停留时间为30s,湿度40%时转化率可达到96.15%;乙苯相同浓度及停留时间下,湿度为60%时效果最佳,转化率为87.19%。由于真空紫外光解中,OH·和03是体系中重要的光解因素,因此对臭氧的产生量及对应去除率做了讨论,并通过红外光谱(IR)的羟基做了直观的定性检测,通过各光解因素的得到三种转化机制的贡献比例,对于乙苯,起主要作用的是HO·氧化,其次是O3氧化和直接光解。以湿度35～40%的标空体系为例,三种转化机制分别占到了 43.21%、40.20%和16.59%;而α-蒎烯中起主要作用的是03氧化,其次是直接光解和HO·氧化,湿度35～40%时,三种转化机制的比例分别为50.3%,24.9%和24.8%。本论文还对乙苯和α-蒎烯进行光解途径推理,并探讨了两种废气的相互増抑机制。