【摘 要】
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超声电机因其独特的压电转换和摩擦驱动机制成为具有发展前景的精密驱动部件,由于依靠定转子之间摩擦力驱动,摩擦副的高摩擦系数和低磨损是提高其输出性能和使用寿命的关键因素。表面织构对干摩擦下提高接触面摩擦系数、改善磨损性能具有显著优势,为优化超声电机输出性能提供了可能性。微沟槽阵列是表面织构的一种常见形式,可以满足超声电机摩擦副增摩减磨的要求。光刻电解加工技术和激光加工技术是制备微沟槽阵列的两种有效方法
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超声电机因其独特的压电转换和摩擦驱动机制成为具有发展前景的精密驱动部件,由于依靠定转子之间摩擦力驱动,摩擦副的高摩擦系数和低磨损是提高其输出性能和使用寿命的关键因素。表面织构对干摩擦下提高接触面摩擦系数、改善磨损性能具有显著优势,为优化超声电机输出性能提供了可能性。微沟槽阵列是表面织构的一种常见形式,可以满足超声电机摩擦副增摩减磨的要求。光刻电解加工技术和激光加工技术是制备微沟槽阵列的两种有效方法,本文利用这两种方法分别在TRUSM60型超声电机的定转子表面制备了高精度的微沟槽阵列,并进行干摩擦磨损
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