随着激光微细加工技术在微构件制造方面应用越来越广泛,目前研究者研究主要集中在改进加工工艺参数,实现具体工艺要求的孔,表面的加工生产应用上。对于激光微细加工后表面形貌研究甚少,由于在评定基准面选取的滤波工具不同,评定基准面提取的准确度存在争论,导致评定体系差异很大。由于激光的热作用使加工后的表面层的材料性质发生改变,激光微细加工后的表面的耐磨性尚不清楚。高精度的微构件评定中局限于幅度参数的评价上,加工表面有相同的粗糙度参数,不一定有相似的形貌结构,如何区别具有相近粗糙度参数,不同形貌的加工表面。如何判定加工表面的各向同性与各向异性,以及加工表面的频率特征,如何高效的处理数据,提供完整表面评定的软件,使得三维表面评定参数进一步推广与应用,这类基础研究涉足的研究者研究的相对不太系统各有侧重。基于上述问题,通过对激光微细加工的单坑形貌进行研究,为描述单脉冲作用下的形貌特征提供了三个主要参数,形貌由熔沿和熔池组成。由于激光微细加工表面的是由横纵向带有一定重合度光斑叠加而成的表面,建立了光斑重合度的数学模型,为工作台的移动速度与光斑重合度建立了精确地联系。利用AFM显微镜对加工表面进行数据采集,对典型加工表面的分形特征进行了定量的计算,数值模拟加工表面的各个阶段的情况并与表面支撑率曲线做对比,研究不同支撑率区域内磨损变化的实质因数,并通过对两类材料进行摩擦磨损实验,对激光微细加工后的表面耐磨性有一定的认识,随着激光能量的提高,熔凝层使得材料表面的耐磨性增强,且熔凝层形成的越明显,越有平稳时间较长的工作区间。利用小波滤波工具对激光微细加工表面的形貌进行分解,利用重构与原形貌误差值的比较找到合适的小波基,利用数字信号的特点,粗糙度属高频信号的传输特性不变的原则情况下,去除最大的高频信号能量为原则确定分解次数,提取了小波评定基准面,解决了小波基选取及分解次数的问题。为了验证基准平面的准确性采用了“米”采样方式及提出了平均均方根偏差;区分激光微细加工不同于其他加工表面特有的凸凹特征引入了平均高斯曲率;由于表面分形维数在描述区分表面细节特征不明显,提出了分形表面偏差,可以对不同形貌及同粗糙度不同形貌特征的表面很好地加以区分。对于激光微细加工表面利用一维功率谱密度定量分析了空间频率组成,及不同空间频率能量的积累情况,利用二维功率谱密度对典型加工形貌对比分析,二维功率谱是定性判别表面各向同性与异性的有力分析工具。利用MATLAB/GUI搭建起处理数据的评价系统,软件从时域到频域对加工表面进行了完整的评价,涵盖了大量的课题研究成果。