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异形光学元件是新型光学元件的一类,它区别于普通光学元件,是具有特殊结构的光学元件。随着光子时代的到来、光电信息技术产业化升级,业界对异形光学元件的需求不断增加,对制作异形光学元件的技术研究也逐渐增多。与国外制作异形光学元件技术相比,我国在异形光学元件加工技术方面起步较晚、研究较少。本文分析总结了国内外超声波材料加工机理、材料去除率模型等相关理论,针对异形光学元件的加工方法及工艺特性进行了研究,将光学加工技术与超声加工技术相结合,设计了超声加工变幅杆、研制了专用超声加工系统和曲面抛光系统,