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随着科技的不断发展,制造业对加工精度的要求越来越高。压电伸缩促动器通过其位移分辨率高、体积小、响应速度快、转换效率高的优点,在制造业中的应用越来越广泛。在压电陶瓷等效静电容量较大的应用场合,设计一种输出功率大,精度高的压电陶瓷驱动电源具有很高的应用价值。本文主要完成以下内容: 1、对课题研究的背景进行介绍,简述了国内外压电陶瓷驱动电源的产品,以及压电陶瓷驱动电源的基本驱动原理。 2、本文所设计的驱动电源主要由数字电路部分和模拟电路部分构成。分析驱动电源的整体设计方案;驱动电源包括直流电源,线性放大电路和控制电路三部分。设计所需的高压、低压稳压电源,并对器件进行选型。 3、设计线性放大电路;针对驱动电源所驱动的负载等效静电容量大,容易导致电路稳定性问题的特点,对线性放大电路的开环输出电阻进行计算,并确定输出电压范围、输入电压放大倍数与静态功耗等参数。通过Pspice软件对线性放大电路的相位裕度、以及对不同输入信号的输出响应进行仿真。设计驱动电源的控制电路;控制电路包括数模转换电路、反相放大器、低通滤波器等部分。确定各部分电路的参数与器件,通过Pspice软件对低通滤波电路的幅频特性进行仿。通过软件的仿真,即可验证计算的结果,也可在实际制作前对驱动电源的可行性有所掌控。 4、对所设计开发的驱动电源进行带载测试,包括线性度、阶跃响应测试、矩形波测试、正弦波测试、纹波测试与小信号测试等,然后使用驱动电源开展微结构加工实验,多方面考察驱动电源的性能。通过不同的测试与实验,表明所设计开发的压电陶瓷驱动电源达到预期目标,为课题的下一阶段研究奠定基础。