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VOCs(挥发性有机化合物)气体已经成为大气污染物之一,甲苯作为VOCs中的一种,正严重的威胁着人类的身体健康和赖以生存的自然环境。检测VOCs气体的气敏材料主要有:金属氧化物半导体材料、高分子聚合物、聚合物/无机复合材料等。聚合物/无机复合材料可在室温下使用,既可以发挥高分子聚合物气敏材料可以针对检测对象进行适当的改性、修饰、设计合成的特点,又可以综合其它无机材料的气敏响应特性,在一定程度上改善了传感器的选择性、灵敏度、稳定性等各项指标。面对日益严重的大气污染问题,研制出低成本、微型化、智能化、具有较高灵敏度和稳定性的甲苯气体传感器势在必行。本论文将高分子/无机复合气敏材料作为气敏材料,采用气喷工艺在叉指电极上制备新型甲苯传感器。主要工作包括:采用气喷工艺和旋涂工艺在叉指电极上制备出聚合物/无机复合膜气体传感器,并测试其对甲苯的气敏响应。研究表明,气喷法制备的P4VP(聚4-乙烯基苯酚)/MWNTs复合膜对甲苯的气敏响应要优于旋涂法制备的复合膜,P4VP/MWNTs复合膜对甲苯的气敏响应特性要优于P4VP/CB复合膜。同时,还结合薄膜SEM表征对其原因进行了分析和讨论。采用气喷工艺在叉指电极上制备聚合物/无机多层膜气体传感器,测试其对甲苯的气敏响应。研究表明,聚合物/无机多层膜传感器对甲苯的响应都呈现出一定的线性。PEO(聚环氧乙烷)/MWNTs双层膜对甲苯的气敏响应优于P4VP/MWNTs双层膜,PEO/MWNTs双层膜对甲苯的气敏响应优于PEO/MWNTs复合膜,PEO/MWNTs三层膜和P4VP/MWNTs三层膜的响应优于PEO/MWNTs双层膜和P4VP/MWNTs双层膜。说明在相同的膜结构下,PEO作为气敏材料比P4VP对甲苯的响应大。选用PEO/MWNTs三层膜对五种VOCs气体进行了检测,体现出对甲苯有较好的选择性。对三层膜结构的传感器进行了重复性测试,发现PEO/MWNTs三层膜在五个测试周期中响应比较稳定,而P4VP/MWNTs三层膜则呈现出略微的衰减。最后结合薄膜的SEM表征和可见光光谱分析讨论了聚合物/无机材料的气敏机理。