微位移技术在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位，它直接影响精密、超精密加工精度、精密测量精度及超大规模集成电路生产水平。但是，现在利用微位移技术研制出的精密及超精密工作台中，往往整体性存在缺陷，而且同时对环境的要求严格。本文的目的是通过对微位移平台的支撑技术研究，结合实际需要，寻找各项性能均衡的设计方案，尝试采用了一种利用摩擦轮驱动柔性铰链的新型工作台方案。本文对摩擦驱动关键技术，如柔性铰链和摩擦机理等进行了深入研究。对柔性铰链模型进行阐述，通过有限元分析了柔性铰链模型。其次，介绍了摩擦轮传动的类型与其应用范围，分析了摩擦轮理论和传动的工作原理和驱动铰链的摩擦轮。本文在深入研究摩擦驱动理论上，拟定了该实验平台的结构方案，对该系统的硬件设计和软件设计进行讨论，开发和设计了用于控制摩擦驱动微位移试验平台的控制系统，通过上位机控制单片机系统，来驱动柔性铰链完成微位移动作，体现了较好的操作性和可靠性。最后对微位移平台进行了性能试验来分析和验证工作台，通过试验数据进行总结和评估，分析了摩擦驱动微位移平台的优缺点。实验结果表明该系统满足精度、频响等系统设计目标，整个超精密进给系统行程28μm，定位精度±0.05μm／μm，最大响应时间80ms。该系统成本低、体积小、具有良好的人机界面，有较好的后续开发性。为了早日达到实用性要求，还需要进一步研究加以改进。