微位移平台相关论文
压电陶瓷微动位移平台具有零摩擦无噪声、无需润滑、结构紧凑、负载能力强、分辨率高以及响应速度快等优点,在生物医学工程、精密......
辊对辊压花工艺中,具有功能性微结构图案的金属辊模是关键部件,因为功能性微结构图案的表面质量和精度将直接反映在光学膜上.因此,......
针对传统串联式微位移机构具有的结构不紧凑和刚度较低等问题, 本文设计了一种结构紧凑、具有高分辨率和高刚度的并联式自解耦二自......
文章设计了压电式二维微位移平台,能够实现x、y方向的微位移,每个方向都有一个Scott-Russell机构(简称为SR机构)来放大压电驱动器......
近年来随着机械制造,计量科学,材料科学等学科的迅猛发展,作为精密机械与精密仪器的关键技术之一—精密定位技术,目前已经进入了“......
随着精密定位技术的发展,基于压电陶瓷驱动的微纳定位系统已经在工业生产与科学研究中得到广泛应用,例如,纳米压印,光电封装,细胞......
针对高精度水平基准装置人工调试时人为误差大,费时费力等实际,提出一种自动调平方法。...
针对轴系对中测试系统的核心器件一位置敏感探测器（PSD）存在较大非线性误差、PSD输出坐标不能正确反映入射光点实际位置的问题，为提高......
论文介绍一种摩擦式微位移机构的工作平台，分析了该实验平台的结构和工作原理，对该系统的硬件设计和软件设计进行讨论。实验结果表明......
针对微细电化学加工的加工状况，利用压电陶瓷作为微位移器件，将高性能嵌入式微处理器、大规模可编程逻辑器件以及模糊PID算法应用于......
为了提高位置敏感探测器（PSD）的测量精度,减少其非线性带来的误差,设计了基于微位移平台的在线数据采集与校定装置,提出了基于BP神经......
压电陶瓷驱动器具有迟滞、蠕变等非线性特性,降低了微纳米定位平台的精度,因此,课题组通过建立压电陶瓷微位移驱动器的磁滞模型以......
相机在成像过程中，由于外界或自身的各种干扰，导致在曝光时间内，目标像在焦平面上存在相对运动，成像质量往往产生一定程度的退化，为了得......
针对传统串联式微位移机构具有的结构不紧凑和刚度较低等问题,本文设计了一种结构紧凑、具有高分辨率和高刚度的并联式自解耦二自......
针对应用于轴系对中系统的位置敏感探测器(Position Sensitive Detector)存在较大非线性误差,为改善PSD性能、提高对中的测试精度,......
作为精密工程和精密仪器关键技术之一的高精度微位移技术在大规模集成电路的制造与检测、生物芯片技术、纳米技术、光学组件定位、......
为了提高成像质量,得到高分辨率的图像,通过对灰度投影法进行分析,提出一种基于灰度投影法运动估计的成像CCD平移补偿法,给出其系......
随着纳米科学和纳米技术的飞速发展,压电陶瓷驱动的微位移平台逐渐成为精密制造装备中实现微观操作和加工的核心部件。但是压电陶......
为提高微位移平台的位移控制精度,采用LabVIEW软件开发出一套微位移控制系统,针对不同组成部分间的通讯问题,采用编写底层驱动方式......
本论文以压电陶瓷驱动的空间用精密微位移平台为研究对象，围绕平台轻型化、微型化和高精度定位等性能指标，进行了较系统全面的理论分......
微位移技术在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位，它直接影响精密、超精密加工精度、精密测量精度及超大规模集成......
随着科技的发展，现代制造日益趋向功能集成化、外形微小化和超精密化方向发展。面向精密微机电器件的微纳加工技术已经成为国内外研......
