本论文的主要研究工作是基于严格耦合波的结构色检测光栅结构参数的方法,主要分为理论计算和多层介质膜光栅的参数测量两个部分。在快点火系统中约束着系统性能的主要参数是多层介质膜光栅的衍射效率。考虑到光栅制作工艺中图形多步转移中的不确定因素,目前缺少无损检测的手段对正式光栅制作工艺过程进行有效可靠的检测,本文的重点工作是提出了基于结构色的无损检测方法来测量光栅的参数。一、给出了基于结构色检测光栅参数的基本原理和思路,详细的介绍了严格耦合波来求解周期性结构的衍射效率的方法,分析了光源光谱和光栅衍射效率拟合成结构色的方法,给出了具体的步骤和实现代码,其中计算程序考虑了多维周期性结构和锥角衍射等因素。二、分析了光源的参数(偏振和半高宽)以及光栅的参数对结构色的影响,其中光栅的参数包括了线密度,栅线高度,占空比,光栅形貌等等。给出的结论包括:光栅线密度在1740线每毫米时,对应的结构色对线密度变化不敏感;光栅栅线高度在300nm左右时,较小的栅线高度可以引起结构色较大的改变。三、给出了线密度为1740线每毫米的多层介质膜光栅的占空比检测实验结果,分别在显微镜测量系统和光谱仪测量系统中进行了讨论。给出了显微镜测量系统中测量占空比的绝对误差在13%到20%和光谱检测系统中测量占空比的绝对误差在3%到20%。本文的研究结果表明,基于结构色检测光栅占空比的方法可行,但是存在一定的误差。在文章的后续工作中给出了今后改进的方向。