目前,越来越多的制造企业根据其自身业务流程通过部署和实施制造执行系统(MES)来进行生产管理和提高产能,实现与下层过程控制系统(PCS)和上层企业资源计划(ERP)的信息沟通。生产过程监控系统作为MES中重要子系统,实现了产品生产流程和设备工艺参数的匹配监控,对于提高设备产能,保证设备自动化运转发挥了重要作用。半导体行业作为资本集中与工艺复杂的代表行业,单纯依靠人工进行生产监控存在信息量少,差错率高且信息滞后等问题,严重影响设备产能。因此,面向半导体行业研究并实施基于MES平台的生产过程监控系统是十分必要的。本文分析了半导体企业的现状和半导体行业业务流程,针对传统半导体企业单纯依靠人工进行生产监控的弊端,研究了基于MES的生产过程监控系统的解决方案。针对当前MES解决方案面向特定行业中特定企业的现状,本文基于半导体设备通信标准(SECS)对设备通信信息格式进行了研究,提出了通过增加信息项实现格式扩展性的方法,并在此基础上优化了基于MES的生产过程监控系统的数据采集模块,使之可以兼容不同的设备通信格式；通过对MES相关理论和基于MES的过程管理功能模型的研究,设计了系统的总体结构、功能模块和系统数据库,并最终实现了原型系统；通过测试验证了系统的功能,系统的应用使半导体企业生产过程监控的效率有了显著的提高,具备良好的经济效益和社会效益。