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热电材料是一种利用固体内部载流子运动实现热能和电能直接相互转换的功能材料。它可用于温控、温差发电、医疗器材、潜艇用空调设备等许多重要领域。传统热电材料普遍ZT值较小,转换效率低。研究表明,材料的纳米化、低维化都有助于降低材料的热导率,是提高热电材料性能的最有效途径之一。电化学原子层外延法(ECALE)具有低成本、过程易控、室温沉积、环境负荷小等特点,在制备纳米超晶格材料方面具有独特的优势,是控制半导体化合物结构、组成和生长形貌及了解电沉积机理的先进技术。本文讨论了利用ECALE技术