【摘 要】
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本文通过对移相式数字波面干涉仪得到的测试波面进行处理实现锥体棱镜、屋脊棱镜和直角棱镜角度测试的数字化和自动化。本文首先详细地研究了移相式数字波面干涉仪的测试原理
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本文通过对移相式数字波面干涉仪得到的测试波面进行处理实现锥体棱镜、屋脊棱镜和直角棱镜角度测试的数字化和自动化。本文首先详细地研究了移相式数字波面干涉仪的测试原理，探讨了这三种棱镜的特性，然后建立了角度误差的数学模型，推导了干涉仪测试这三种棱镜的角度误差公式，最终编制了实用的棱镜测试程序。本文对锥体棱镜进行了测试，并与ZYGO干涉仪的测试结果进行比较，结果表明本文方法的测试精度能够满足二面角角度偏差的测量误差在0.5”范围内。
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