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本文对扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope，STM)的基本理论、系统构成、STM探针制备方法、探针材料及形貌对扫描图像质量的影响等作了较为全面的评述。其中对STM探针的较佳制备条件及探针的材料、形状和曲率半径与图像之间的关系等具体问题进行了研究，并得到了下述结果。
一、通过直流电化学腐蚀法和交流电化学腐蚀法两种方法，在不同的实验条件下，用直径0.32 mm的钨丝和0.5 mm铜丝制作出了不同形状和不同曲率半径的探针尖端。对于钨丝，寻找到制作双曲面型尖端的可控条件，使制作出的新月型针尖的纵横比在1/2的范围内。
二、利用所制备的针尖在平面性和取向性较好的有序高定向热解石墨(HOPG)上多次重复扫描，分别得出了其表面结构形貌图、等高线图、三维透视图及样品表面轮廓图。分析结果表明，探针材料、尖端曲率半径对STM图像的分辨率、噪声和稳定性有不同程度的影响。
三、根据实验结果，完善了尖端曲率半径Rt、样品表面结构波动幅度A和空间频率f满足之间的关系，即f
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