目前在H2的工业应用上广泛采用的往复活塞式氢气压缩机，多使用填料密封技术，存在约3-5％的泄漏量。对于H2加工使用量大的企业，这是一笔巨大的浪费，如果能对这些泄露的氢气加以回收利用，无疑可以产生巨大的经济和环境效益。论文对工业上常见的低温分离法、膜分离法、变压吸附法（PSA）作对比讨论，结果显示变压吸附法有适应性强、H2回收率高、投资低、易操作等诸多显著优点。论文最终选择变压吸附法对填料尾气中的氢气回收做了详细研究。　　论文首先用气相色谱法分析了填料尾气的组分。选择了高比表活性炭（SAC）和5A分子筛（ZMS）两种吸附剂，采用容量法设计PSA实验。对填料尾气的各组分做吸附实验，做出各个组分的吸附等温线，决定吸附塔的吸附剂和吸附时间。对填料尾气的各组分进行解吸实验，确定解吸时间。对氯硅烷（SiCl4、SiHCl3、SiH2Cl2）、氮气、氢气在两种吸附剂上吸附性能、解吸速率进行研究，从而对PSA法回收系统的吸附、解吸的时间、压力和温度等操作参数提供依据。　　本文在掌握了实验数据的基础上，提出了 PSA法回收填料尾气中氢气的系统工艺流程，决定了系统的关键操作参数，并研究了最佳的工作时序方案，最后对经济和环境效益进行定量分析，计算了回收氢气可以产生的经济和环境效益。该系统的建立，可在一定程度上降低多晶硅产品的成本。