非球面的近零位子孔径拼接测量技术研究

来源 :国防科学技术大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:red0035
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
大口径凸非球面在大型望远镜、光刻物镜、惯性约束聚变等光学系统中的应用越来越多,其口径和面形误差直接决定了光学成像质量,是影响系统性能的重要元件。现代确定性光学加工技术的根本前提是面形误差的准确定量检测,而以补偿检验为代表的传统方法,存在测量口径受限、像差补偿能力不足或精度不高等技术瓶颈,严重制约其制造水平的提升。论文创新提出基于双回转相位板的近零位补偿与子孔径拼接相结合的方法,突破传统补偿法的口径受限和子孔径拼接法的可测非球面度受限的难题,利用双回转相位板产生可变的像差,可灵活补偿不同形状的凸非球面子孔径的大部分像差,达到近零位测试条件,具有结构紧凑、调整自由度少、易于对准、无圆形孔径畸变等突出优点。论文的研究工作主要包括:1根据双回转相位板工作原理,计算凸非球面上各离轴子孔径的剩余像差系数,完成相位板相位函数的计算;同时加以辅助对准图样和载频,得到相位板的设计结果,并通过仿真验证该近零位补偿器对不同非球面的面形适应性。分析相位板失调引入的波前像差,据此设计相位板的多自由度装调机构,同时考虑补偿器与干涉仪和被测镜部分的装调工艺。2搭建光学非球面的近零位子孔径拼接工作站。分析拼接工作站的运动链,完成了正向和逆向运动学分析;通过理论计算与仿真,验证被测镜在设计的装夹状态下受到重力变形的影响很小;通过Zemax软件仿真得到被测镜的调整公差范围,完成了被测镜姿态调整的双转台结构设计。在已有的非零位子孔径拼接工作站的基础上完成了近零位子孔径拼接工作站的改造设计与安装调试。3以有效口径320mm的高次凸非球面镜为例,完成了凸非球面的近零位子孔径拼接实验。通过光学追迹和凸包算法确定子孔径的重叠区域和重叠数据点对,利用一阶近似建立子孔径失调与像差的数学关联,根据重叠区域面形误差一致性原则建立近零位子孔径拼接的数学模型,利用最小二乘法分离子孔径失调引入的像差以及近零位补偿后的剩余像差,得到全口径面形误差。同时对该高次凸非球面进行了三坐标测量和非零位子孔径拼接测量,并与近零位拼接测量结果相比较,初步验证了近零位子孔径拼接测量的有效性和优越性。
其他文献
甘孜州旅游资源门类齐全,具有综合性、互补性强的特征,曾被世界旅游组织定位为中国推向世界的自然生态旅游和康巴藏族文化旅游目的地,被《四川省旅游发展总体规划》列为全省
我注意到有人提出2006年是中国的“休闲元年”,媒体也曾大事地宣传。什么是“元”?其中的意思是“初始”、“第一”。那么,“休闲元年”意味着2006年开始有“休闲”,而以往是没有
石油勘探开发中有时采用向油井充入直流电流并检测地表电位变化来探测地电阻率变化,用地电阻率的变化来指示注入油井的含电解质水的推进方向,也可以根据地电阻率来指示剩余油
2016年3月,阿尔法狗以4:1的成绩战胜了围棋高手李世石,2017年又以3:0的比分完胜柯洁,人工智能引起了人们的广泛关注,成为一个时髦话题。人们开始担心是否会被人工智能取代、是否会
期刊
本文采用实验与边界元仿真对比的研究方法研究了结构设计对镁合金零部件腐蚀性能的影响。基于镁合金发动机支撑架联接部位的结构特征,设计了一个镁合金电偶腐蚀测试平台。在
1.研究背景及目的:帕金森病是一种中老年常见的神经系统变性疾病,随着人口老龄化及日益恶化的环境污染,其患病率呈上升趋势,尽管帕金森病不会明显缩短患者的寿命,但由于疾病
税务稽查承担着打击税收犯罪、严防税款流失底线、维护国家经济安全的神圣使命,履行着保障纳税人合法权益、促进税法遵从的重要责任,是税收的“最后一道防线”,在税务系统中
针对目前土壤监测分析方法、质控要求不统一的现状,从空白试验、标准曲线、精密度、准确度等方面,分析了在实际应用中存在的问题,提出构建统一的土壤环境监测质量管理体系和
目的:观察新药贝前列素钠(简称贝钠)、舒洛地特(简称伟素)联合肾炎康复片对糖尿病肾病(DN)蛋白尿及肾功能的疗效。方法:选择符合W.H.O诊断标准和Mogensen分期标准的山期、Ⅳ
会议
车刀是机械加工中重要的切削工具,刀具刃磨质量的好坏,直接影响到加工工件的表面质量、精度。采用先进的数控刃磨装置是刃磨高质量、高精度车刀的重要保障。基于此,本文旨在