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基于双回转相位板的非球面子孔径测量技术
子孔径拼接技术与补偿检验技术的结合能够增加干涉仪的横向和垂直动态测量范围,适用于大口径、大非球面度的非球面的面形测量。利......
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干涉仪
非球面的近零位子孔径拼接测量技术研究
大口径凸非球面在大型望远镜、光刻物镜、惯性约束聚变等光学系统中的应用越来越多,其口径和面形误差直接决定了光学成像质量,是影......
学位
光学面形测量
凸非球面
双回转相位板
近零位补偿器
子孔径拼接
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