论文部分内容阅读
具有结构色的氧化物薄膜,由于其颜色鲜亮、饱和度高,环境友好和波长容易调控等特点,在防伪、装饰和传感器等领域具有广泛的应用前景。其中,使用阳极氧化法制备该类氧化物薄膜具有制备工艺操作简单、条件可控以及实际应用范围广泛等突出的优势。例如阳极氧化铝(PAA)薄膜,不仅具有可控的结构色,还具有规则的六角密堆积状孔洞分布,从而出现除结构色之外的许多其他物性(如铁磁性、阻变特性等)。研究发现这些特性与多孔结构密切相关,基于此,本文通过阳极氧化法制备出了具有有序多孔结构的氧化铌薄膜以及氧化钽薄膜,并采用一系列测试