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YBa_2Cu_3O_(7-δ)(YBCO)超导薄膜具有优异的电学性能,用其制作的电子器件在液氮温区具有超高灵敏度、低功耗、强抗干扰能力等优点。随着高温超导电子器件在SQUID、微波、超导天线等众多领域中的广泛应用,促进了超导薄膜微细图形制备技术的发展。本论文把溶胶-凝胶与化学修饰相结合的薄膜微细加工工艺应用到高温超导领域,对YBCO超导薄膜的微细图形进行研究,并结合超导薄膜图形的制备和I-V曲线测试装置的设计,实现YBCO超导薄膜临界电流密度(J_c)值的测量。这些研究对于高温超导器件的制备和性能