【摘 要】
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高精度、高可靠性、重量轻、小型化是惯性导航系统追求的主要目标。陀螺仪是各国重点发展的高科技军事和民用技术。微光学陀螺仪(MOG:Micro OpticGyroscopes),又称集成光学陀螺
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高精度、高可靠性、重量轻、小型化是惯性导航系统追求的主要目标。陀螺仪是各国重点发展的高科技军事和民用技术。微光学陀螺仪(MOG:Micro OpticGyroscopes),又称集成光学陀螺仪(Integrated Optic Gyroscopes)是在继机械陀螺、激光陀螺和光纤陀螺之后发展的第四代陀螺仪,它以波导取代光纤,将光源分束器、探测器、处理电路包括微加速度计集成在同一片基底上,从而实现体积更小运转更可靠的目标。MOG研制中的最关键一项技术是制备低损耗螺线波导并用耦合技术做成互易结构,本论文主要针对此项技术进行理论分析设计和实验实践。我们给出了一个三维结构的聚合物波导环设计方案并根据当前技术给出可行的制作方案。在实验实践中,针对紫外光固化紫外胶的特性利用激光直写技术搭建一维实验平台,对紫光激光直写聚合物波导的工艺进行研究;通过控制激光功率,曝光速度制作合乎要求的具有表面自组织结构脊型聚合物直波导,对线条展宽进行讨论分析。
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