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行波超声电机具有低速大转矩、无电磁干扰、定位精度高、响应速度快等特点,其应用引起广泛关注。但其具有非线性和参数时变性等特征,给其高性能控制带来困难,影响了其在航天领域的应用。本文在分析了超声电机运行机理的基础上,建立了超声电机两相驱动电路模型,设计了基于相位差的超声电机速度/位置模糊自整定PID控制系统,以提高超声电机的动态性能。(1)分析了超声电机运行机理,包括超声电机定子表面行波的产生机理和定子表面质点的椭圆运动分析。运行机理表明,改变驱动电压频率、幅值和相位差,可以改变电机转速。并在此基础上,