本论文是关于振动传感器的研究与开发的论述,激光振动传感器是利用激光入射到振动的质量块表面,经反射,入射光和反射光干涉后形成驻波。在入射点运用激光接收器探测激光驻波的光强,通过光强的强弱变化就可以探测出振动情况。研究激光振动传感器是为了获得抗电磁干扰、抗腐蚀、耐高温、体积小、重量轻、灵活方便性能更优的新型振动传感器。研究与比较其他类型的振动传感器,本传感器选用标准的CMOS工艺与MEMS工艺相结合,以激光作为探测工具,以硅工艺中的硅材料作为敏感惯性材料。研究开发的过程中采用ANSYS仿真确定悬臂梁的回滞能力和振动范围,利用MATLAB对激光形成的驻波进行仿真,方便结果的处理。前期的研究与开发工作,主要是确定出此传感器的测振方式和具体结构,并从中得到了测振方法,此传感器的最大创新点有两个。一是用激光作为探测工具,不需要光纤,这样既简化了传感器结构,又可以提高测量精度;二是将标准的CMOS工艺与先进的MEMS工艺相结合,可以用硅材料作为敏感元件的材料,性能更高。