碳氮薄膜的制备及结构性质研究

来源 :兰州大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:youqing_2009
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该论文作者从1994年开始,集中精力进行了β-C<,3>N<,4>的合成制备工作,先后采用热丝辅助射频溅射技术和等离子体增强化学汽相沉积技术成功地制备出含有β-C<,3>N<,4>晶体相的CN<,x>薄膜,对制备的CN<,x>薄膜样品进行了全面的红外吸收光谱,拉曼光谱,俄歇电子能谱和X射线衍射分析.
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