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随着现代工业技术的进步,部分机械设备向着高速、重载、高温等方向发展,高的表面比压、大的载荷冲击和表面间的线速度以及生产工况的恶化,都容易使零部件中的油膜变的很薄,极易破损。为了实现对机械关键设备的油膜厚度进行在线监测,随时了解设备的润滑状态,本文选用超声波法进行油膜厚度测量,拟采用在零件表面沉积AlN压电薄膜并将其制作为超声换能器的方式,以达到不入侵、不损坏机械零件的目的。通过仿真与实验两种手段,对其中所涉及的一些关键技术进行了研究。建立了用于油膜厚度测量的两种理论模型,给出了一定频率下,两种模型的