微波可调谐电容器材料的C-V特性研究

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本论文研究了脉冲激光沉积工艺制备(Ba_(0.65)Sr_(0.35))TiO_3(BST35)、(Ba_(0.50)Sr_(0.50))TiO_3(BST50)薄膜,以及溶胶-凝胶法制备(Pb_(0.72)La_(0.28))Ti_(0.93)O_3(PLT28)薄膜;并且用CaRuO_3(CRO)和LaNiO_3(LNO)分别改善BST35和BST50的介电特性与介电调谐特性;在此基础上探讨了薄膜的取向成核机制以及工艺参数、微结构和性能之间的关系。本论文的主要结论如下:
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