随着光电探测、图像处理、精密机械以及计算机等技术的进步,近代光学测试技术已经得到了长足的发展。在对精密光学元件及光学系统进行检测中,干涉仪是目前较为有效的高精度检测手段。动态干涉仪能够在同一时刻采集多幅干涉图重构出被测波面的面形,实现高精度测量,同时动态干涉仪的抗振动能力强,可以消除大气湍流和环境扰动对检测的影响。动态干涉仪经过多年的研究已成为近年来光学测量领域中的研究热点之一。本论文研究了数字波面动态干涉技术,对其关键技术进行了研究与分析。为准确方便获取四个与相位相关的光强参量,本文采用了琼斯矩阵,分析了基于SLM的数字波面动态干涉测试原理及实现方法。据此,提出了一套完整的基于SLM的数字波面动态干涉装置的技术方案,具体编写了相关算法,在对平面光学元件的动态测试进行了仿真分析的基础上,进一步研究了球面光学元件动态干涉测试SLM位相调制特性与非球面光学元件的测试原理。由于液晶空间调制器中液晶背板的空间不均匀性,入射波前引入了像差项,校正此像差对于提高液晶空间光调制器的相位调制精度至关重要。本文提出了一种测量液晶空间光调制器相位调制特性的方法,利用斐索干涉仪对液晶空间光调制器的相位调制精度进行标定,利用反插值法完成线性校正,最终对SLM位相调制精度校正的标定及补偿。校正后的相位调制曲线的线性相关度可达0.9987,校正误差为0.13。除此之外,本文还给出了动态干涉测试方法的实验验证,为基于SLM的动态干涉仪的研究提供了技术积累和理论参考,为其进入实际工程应用奠定了理论基础。