干涉检测是近柱光学面制造过程中的重要环节。本文通过Zemax和Matlab仿真，对近柱面正入射式干涉检测中的若干问题进行了深入研究。内容主要涉及到近柱面检测装置的特性分析和优化、曲面拟合法处理波像差的精度特性研究和提高精度的方法等。具体内容包括： 1、利用Zemax构造检测装置模型。该模型可有效模拟各种近柱二次曲面的正入射式检测。 2、深入分析正入射式检测装置下的近柱面干涉图特性，并以此为基础研究了近柱面的可检性。 3、探讨离焦量和倾斜量的调整对近柱面检测装置的优化作用，以及此类优化的局限性。 4、编制曲面拟合法处理波像差数据的Matlab仿真软件。 5、研究拟合参数同曲面拟合法的拟合效果之间的相关性，以此为着眼点讨论曲面拟合法处理波像差数据的精度特性。 6、发展了最佳拟合阶数的确定方法以提高曲面拟合法处理波像差数据的精度。 对以上各项内容的深入研究，一方面有助于提高对近柱面正入射式检测技术的认识水平；另一方面，本文在近柱面可检性、检测装置优化方案、曲面拟合法拟合参数优化等多个方面上取得的研究成果，分别在近柱面检测装置的可行性分析、装调和数据处理过程中具有一定的实用价值，对促进近柱面正入射式检测技术在国内相关领域内的实用化有积极意义。