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干涉检测是近柱光学面制造过程中的重要环节。本文通过Zemax和Matlab仿真,对近柱面正入射式干涉检测中的若干问题进行了深入研究。......
研究了曲面拟合法对特定抛物和双曲近柱面检测中波前像差的处理过程,结果表明,对振幅为0.1λ的中频正弦型面形,由曲面拟合法得到的......