羰基金属CVD法制备功能薄膜工艺及应用研究

来源 :西南师范大学 西南大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chuai09
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该文报道了利用羰基金属为物源进行化学气相沉积制备出具有优良力学性能的固体薄膜,在系统实验的基础上探讨了薄膜沉积工艺条件及其影响因素,获取了近十种沉积薄膜的最佳工艺条件,并通过X衍射、俄歇电子能谱、膜台阶仪谱、电镜扫描、金相分析等手段进 行了膜的成分测定和表面形态结构分析,在此基础上探讨了沉积薄膜的生长机制,以及该过程的化学反应机理,最后采用该技术进行模具表面改性和钼钨合金阻抗膜的制备应用.
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