针对STEM的静电六极球差矫正系统

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该文在Crewe提出的磁六极球差矫正系统的基础上,根据我们的实际情况,作了如下工作:1、证明了单个静电六极透镜系统、两个静电六极透镜系统和三个静电六极透镜系统不能成为真正意义上的球差矫正器.2、证明了静电六极透镜—旋转对称透镜—静电六极透镜系统可以消除物镜的三级球差.3、讨论了电子束斜入射的情况下,静电六极透镜—旋转对称稳定镜—静电六极透镜系统也右以矫正物镜的离轴的三级像差.4、阐述了消除三级球差后,剩下的主要是五级球差的衍射效应,可使STEM的分辨本领大大提高.5、讨论了由于装配上的误差所造成的影响.以上结果表明:静电六极透镜—旋思索对称透镜—静电六极透镜系统可以有效矫正物镜的三级球差,该系统有可能投入使用.由于我们的计算是针对实际系统进行的,因此该文结果将对实验具有指导意义.
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