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精密定位技术是精密制造、精密测量、精密工程等微观科学领域中的关键技术,微定位平台是精密定位技术中的一项重要载体。本文以理论与实验相结合研究方法研究了一种压电陶瓷驱动的两自由度微定位工作台,并对微定位平台的关键技术、伪刚体建模技术、压电陶瓷驱动器迟滞非线性及微定位平台实验测试进行研究,取得以下研究成果:设计了一种压电陶瓷驱动,柔性移动副作为支承导轨的微定位平台,借助有限元分析方法和“伪刚体模型”法,建立平台的伪刚体模型,分析了微定位平台解耦特性。设计了一种新型的柔性移动副,利用ANSY