磁控溅射法制备YBCO原子层热电堆薄膜研究

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【摘要】

：

YBCO外延地生长在倾斜的SrTiO3衬底上时,YBCO薄膜表面法向与YBCO的c轴成α角,若有激光光沿z轴方向入射YBCO表面时,z轴有激光感生热电电压产生。这种热电材料称为原子层热电材料。这种激光感生热电电压器件(LITV)具有响应快(纳秒到皮秒)、响应光谱宽(光谱范围从紫外到红外)、灵敏度高、非制冷探测、高稳定性、易集成、成本低廉的特点,有很广阔的应用前景。本文就YBCO的制备、薄膜的生长条

【作者】

：

王道云

【机构】

：

郑州大学

【发表日期】

：

2011年05期

【关键词】

：

原子层热电堆激光感生热电电压(LITV) YBCO 直流磁控溅射

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