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基于SEM的纳米级操作机器人是指以SEM为本体并将纳米尺度物体作为操作对象的精密操作系统。由于SEM具有腔室空间大、实时图像反馈等特点,基于SEM的纳操作机器人近年来获得了广泛的研究,并逐渐成为人类探索微观世界的重要工具之一。精密定位工作台作为纳操作机器人手臂,其工作性能直接决定了纳操作机器人的最终操作质量。因此,为了提升纳操作机器人的操作效率和操作质量,本文研制了一套基于SEM纳米操作的三自由度精密定位系统。根据SEM中特殊的操作环境要求和纳操作任务对精密定位装置的性能要求,本文设计了一套