铝阳极氧化膜绝缘性的研究

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该文中对铝阳极氧化膜在电工和微电子方面的应用,如绝缘性等,进行了广泛深入的研究.该文阐述了为制备具有内层导电而外层高绝缘性能的铝合金材料,而分别就硫酸法、草酸法、混酸法(硫酸和草酸混合)进行常规阳极氧化,然后硼酸盐为电解液进行二闪阳极氧化,实验证明此工艺的阳极氧化膜电阻明显增加.最后将上述上方法综合、分析的,确定应用草酸法制备铝合金绝缘材料是最,并且确立了该法的最佳工艺条件.
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