近年来,随着科技发展微定位技术受到越来越多关注并在精密机械制造、加工、装配、微机电系统(MEMS)、精密光学、生物医学工程等领域中广泛应用。这些领域对精密定位系统的要求也越来越高：不仅要求系统具有良好运动特性、高精度的定位精度还要系统具有快速的响应时间,因此,研究一种柔顺并联机构应用于精密定位平台系统有着广阔的应用前景和发展潜力。本文主要对精密定位平台传动机构及控制系统研究,设计以压电陶瓷驱动,3-RPC型柔顺并联机构作为精密定位平台的传动机构,采用常规PID控制方法结合微位移检测装置构成精密定位平台系统。基于并联机构螺旋理论基础对3-RPC型并联机构构型及运动特性进行分析,结合柔性铰链特性研究设计了3-RPC型柔顺并联机构,对柔顺支链采用整体式设计与传统支链结构相比消除了传动中的装配误差、间隙、及机械摩擦,提高了机构定位精度。运用虚功原理建立了柔顺并联机构静刚度模型；利用Solidworks软件建立了柔顺并联机构模型,利用ANSYS软件对机构进行静力学仿真得出机构仿真输出位移,为实验设计提供对比依据；由机构静刚度模型结合仿真分析得出机构静刚度矩阵。精密定位平台控制系统采用常规PID控制。在对硬件系统设计的基础上分析研究了压电陶瓷驱动器的工作原理及其迟滞、蠕变、非线性等特性；建立了精密定位平台控制系统模型设计了平台PID控制器并进行了仿真。搭建了精密定位平台实验系统进行实验验证,对压电陶瓷定位精度及平台定位精度进行了测试,分析了定位系统误差来源及产生原因。测量结果验证了精密定位系统设计分析的合理性。