【摘 要】
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本文介绍了一种热膜式气体流量传感器，该传感器芯片为平薄膜结构，加热电阻在敏感芯片的中间；加热电阻的两端各有一个测温热敏电阻，且加热电阻和测温热敏电阻在腐蚀出来的矩形薄膜
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本文介绍了一种热膜式气体流量传感器，该传感器芯片为平薄膜结构，加热电阻在敏感芯片的中间；加热电阻的两端各有一个测温热敏电阻，且加热电阻和测温热敏电阻在腐蚀出来的矩形薄膜中部。在非薄膜的硅衬底上制作三个相同材料的控制电阻，应用在信号处理电路中来实现发热控制和温度补偿功能。采用理论模拟和实验相结合的方法对该种微传感器的结构进行了优化和验证。首先，本课题利用ANSYS等软件对流量传感器芯体进行建模并对结构表面温度场模拟分析。再采用MEMS工艺对结构进行制作。最后对传感器芯体进行封装和测试。综合而言，减少大量的模拟分析过程的同时也为此类传感器的设计提供了一个简单而有效的方法和依据。
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