本文介绍了采用高聚物成型MEMS制件的主要成型方法：微注射成型。并就影响微注射成型中影响微制件质量的主要因素——浇注系统与熔接缝的位置和数目进行数值模拟研究，为微模具的结构设计、流道和浇口位置选择、工艺参数的合理优化等等提供理论依据。主要研究内容包括以下几个方面：1．针对微制件的结构特点，就其注射成型中涉及的微注射装置和微注射成型工艺及参数影响，及其微力学性能等基础理论进行了系统的分析，为数值模拟中有限元模型的建立提供了理论基础；2．采用基于Nayier-Stokes微流变理论和Moldflow CAE平台的有限元方法，对微制件充填成型过程进行了数值模拟；和传统的Hele-Shaw数学模型相比较，能够更全面反应出高聚物流体在微流道状态下的流动特性和充填行为；3．对影响微制件质量的主要因素—微浇注系统中的浇口位置和数量及不同工艺参数条件下的充填行为进行了详尽的模拟分析，得到不同位置和数量浇口对微制件在注射成型过程中熔接缝位置、数目和分布等影响关系，表明在微注射条件下，浇注系统位置对微制件的充模时间有较大的影响。4．通过对微制件成型过程的数值模拟，分析了微成型工艺参数制订与传统注射成型参数的差异：微注射成型的温度、压力和速度均高于传统注射成型；而温控系统是微注射模具设计的关键，相比较传统的模具温度低于原料的玻璃化温度，微注射成型的模具温度必须高于材料的玻璃化转变温度。