介质变容管可调匹配网络及微带天线研制

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钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3)材料具有极强的非线性介电性质,其介电常数随外加直流偏压变化,利用这种介电非线性可以制备薄膜变容管。钛酸锶钡介质薄膜变容管因容易与射频微波电路集成,能有效减小电路尺寸,能够应用于可调匹配网络、可调微带天线、可调滤波器、移相器等可调微波器件。本文利用钛酸锶钡材料的介电非线性性能,研究了BST薄膜及变容管,基于变容管技术研制了可调匹配网络、可调微带天线等可调微波器件,主要研究结果如下:(1)通过射频磁控溅射工艺,制备出高性能的BST薄膜,其相对可调率52.7%(40V),介电损耗为0.8%。利用微细加工工艺制备出BST薄膜变容管,其相对可调率37%(30V),介电损耗为0.7%。(2)采用钛酸锶钡(BST)薄膜变容管作为可调电容元件,在LaAlO3基片上采用微细加工技术制备了共面波导结构的C-L-Cπ型可调匹配网络。仿真及测试结果表明,通过在BST薄膜变容管上施加直流偏置电压对BST变容管的电容进行调节,可以在720840 MHz频率范围内,实现该匹配网络与终端负载之间良好的阻抗匹配。其中在780MHz时测得的匹配网络反射系数S11达-40.3dB。(3)基于BST薄膜变容管,在介电常数为2.65,基片厚度为1.5mm的聚四氟乙烯(FR-4)基板上研制了可调微带贴片天线。仿真及测试结果表明,通过外加直流偏压的调节,能使可调微带天线在1.525-1.622GHz频率下工作,其中在GPS(1.575GHz)工作频率下的反射系数S11=-17.2dB。
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