足式机器人因为其能够适应复杂地形和恶劣环境,而且能够完成比较复杂的任务,因此具有广阔的应用前景。液压驱动单元由于其功率密度大、动态响应快、抗电磁干扰性强等特点,能够满足机器人的对负载和运动性能的要求。但是因为液压刚度很大,机器人在与环境接触时时会产生较大撞击,从而影响整体的结构。因此本文研究从提高液压驱动单元的柔顺性来展开,通过提高阻抗控制的控制精度,从而使液压驱动单元有更好的柔顺性,主要研究内容如下:为建立更符合试验台的力伺服系统数学模型,首先用液压弹簧刚度理论确定的伺服缸的初始位置和初始容积,然后搭建三种定义负载压力和负载流量下阀控缸数学模型,仿真分析选择了最符合试验台的负载压力和负载流量定义,线性化非线性环节后,最后建立力伺服系统数学模型,给出了外环阻抗控制模型。在提高阻抗控制内环力伺服系统的力跟踪效果方面,对力伺服的控制算法进行研究。给出了非线性PID和自抗扰控制器的算法组合,并搭建了力伺服系统和控制器simulink仿真模型,整定控制器参数,通过仿真验证非线性PID和自抗扰控制器对力伺服系统的控制效果。搭建了对顶实验平台,对自抗扰控制器和PID的控制算法在LabVIEW重新编程,通过实验验证了自抗扰控制器在力伺服系统上的有效性,并进行阻抗控制实验,实验结果表明,自抗扰控制器能够提高力伺服阻抗控制的精度,从而使液压驱动单元的柔顺性增强。