【摘 要】
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该文针对微机械谐工传感器和微机械基本理论的国际前沿和研究热点,进行了系统深入的研究,研究的主要内容和重要结论如下:通过引入折合的概念,将多层微机械谐振微桥/微悬臂梁
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该文针对微机械谐工传感器和微机械基本理论的国际前沿和研究热点,进行了系统深入的研究,研究的主要内容和重要结论如下:通过引入折合的概念,将多层微机械谐振微桥/微悬臂梁等效为单层结构,建立了多层微机械梁的弯曲振动方程,结合边界条件求出了微桥/微悬臂梁的固有频率.通过粘性阻尼作用下微机械梁对周期激振力响应特性的理论建模,分析了微机械梁振动过程中各种阻尼的作用,研究了微机械梁在真空中所受空气阻尼同空度的关系.研究了介观尺度下半导体表面空间电荷层对微结构间静电作用力的影响,并同宏观尺寸下采用的金属近似公式进行了比较.
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