介质阻挡放电因其能够灵活、方便、经济地产生大面积均匀的低温等离子体而越来越广泛应用于各个领域，沿面介质阻挡放电由于装置结构的特殊性，产生的低温等离子体可用于垃圾电厂燃烧的废气处理。然而关于如何获取性能更优的低温等离子体，目前研究的重点多集中于改变电极结构和激励源形式，关于介质表面态对沿面介质阻挡放电产生的等离子体特性及作用机理的影响研究还不够深入。本文以介质表面态对沿面介质阻挡放电的影响进行研究，寻找介质表面态对产生低温等离子体特性的主要影响因素，以期进一步改善等离子体的性能。主要工作和成果如下：　　采用六组不同表面态石英玻璃作为介质，通过实验重点研究了不同表面态石英玻璃介质在大气压重复脉冲下对沿面介质阻挡放电产生的等离子体特性的影响，并从介质表面态微观角度阐述了影响机理；　　对等离子体进行了电学和光学参数诊断，对比实验结果发现：六组对比实验中，表面Ra值为427.1nm的介质用于沿面介质阻挡放电时，具有相对较低的起始放电电压和个数较多的反向电流脉冲。相同条件下，该介质产生等离子体的平均放电功率较大。通过发射光谱法计算等离子体参数发现，该表面态介质产生的等离子体中电子激发温度和分子振动温度相对较高。　　采用等温表面电势衰减法测量了介质样品的陷阱特性，结果表明：介质表面态影响介质表面陷阱分布，而陷阱特性作用于电荷在介质表面的输运过程，从而影响等离子体特性。　　通过不同表面态介质的对比实验研究表明，介质表面态对沿面介质阻挡放电产生的等离子体特性有显著影响。