随着相控阵雷达的集成化程度日益提高,其功能也愈发强大,然而高热流密度天线阵面的散热问题迫在眉睫。高效的液冷散热技术提供了优秀的热控方案,随着微机电系统的发展,微小通道液冷散热技术也应运而生。针对该技术的研究持续不断,然而离实现工程应用目标仍有一定距离,主要原因之一是制造工艺尚不完善。另外,在微小通道冷板的各项研究中,属实验研究最具说服力,而进行实验研究的第一步就是设计一个合适的实验方案。因此,针对相控阵天线微小通道冷板工艺方法及散热实验的研究是实现其工程应用目标不可或缺的重要环节。本文主要研究内容如下:(1)微小通道冷板工艺方法研究。为寻找适用于微小通道冷板成型的制造工艺,本文从理论上对比分析了各种微结构制造工艺,归纳总结了它们的优缺点及适用场合,根据实际工程需求,择优采取了微细切削技术和金属3D打印技术,提出了微细铣削与螺栓连接组合、金属3D打印、微细铣削与金属扩散焊组合的样件设计方案,加工了多个芯片冷板和天线阵面冷板,并对各方案得到的样件进行观察分析,基于各样件的实际加工情况,对各工艺方案进行了客观评价。(2)微小通道冷板实验方案研究。为设计一个高质量的液冷散热实验方案,本文详细分析了实验平台的组成模块,包括工质驱动模块、模拟热源模块、实验样件模块、工质温控模块、数据测量模块,结合微小通道冷板的液冷实验需求,分析了实现各个模块功能的多种途径的优缺点及适用场合,根据散热对象和工质状态的不同,设计并搭建了两套液冷实验平台,分别制定了对应的实验方法及步骤,然后对实验过程中的各环节进行误差分析并提出优化措施。(3)微小通道冷板散热特性实验研究。为探究微小通道冷板的实际散热特性,针对不同的散热对象,即单芯片热源、20阵芯片热源和128阵芯片热源,本文采用相应的液冷散热实验平台,设置多个实验工况,测得了相关的实验数据,通过数据分析,归纳总结了各个冷板的散热特性,同时对同一散热对象的各个拓扑结构冷板进行了对比分析。